Diperpanjang struktur penyerapan halus X-ray (EXAFS) adalah Efek EXAFS muncul karena hamburan elektron oleh atom-atom yang mengelilingi atom tertentu yang menarik karena atom khusus menyerap sinar X dan memancarkan elektron. Atom yang menarik menyerap foton pada panjang gelombang karakteristik, dan elektron yang dipancarkan, mengalami interferensi konstruktif atau destruktif ketika mereka tersebar oleh atom sekitarnya, memodulasi spektrum serapan. Frekuensi modulasi berhubungan langsung dengan jarak atom-atom di sekitarnya, sedangkan amplitudo terkait dengan jenis dan jumlah atom. Studi EXAFS adalah penyelidikan struktur lokal. EXAFS dapat diterapkan pada sistem yang memiliki struktur lokal, tetapi tidak harus struktur jangka panjang, seperti bahan nonkristalin. Khususnya, panjang ikatan dan simetri lokal (angka KOORDINASI) dapat diturunkan.
Spektrum serapan sinar-X juga dapat memperlihatkan struktur terperinci di bawah tepi serapan. Struktur dekat-serapan sinar-X (XANES) penyerapan ini muncul dari eksitasi elektron inti ke orbital kosong tingkat tinggi.
Diperpanjang X-Ray Penyerapan Struktur Halus, bersama dengan Penyerapan X-ray Near Edge Structure, adalah bagian dari Spektroskopi Penyerapan X-ray. Seperti spektroskopi serapan lainnya, teknik XAS mengikuti hukum Beer.
